鸿运国际版官网:bgs官网电子特气用于气体输送设置厂家特气柜 行
等；特气供气体系便是把种种特种气体正在满意工艺造程央浼的纯度、压力和流量的条件下安静平稳的供应到工艺筑设内。
要紧部件：特气体系要紧搜罗气源供应(特气柜、BSGS)、特气分拨(VMB)、特气输送(管道阀门等)、工艺历程局限(PLC自愿局限器)、以及气体流露侦测、尾气收拾等要紧模块。
用于半导体和LCD微电子等行业的奇特气体输送体系，特气柜平时用于有毒、易燃、腐化性气体，气瓶架可用于惰性气体。
实用于半导体和微电子行业奇特气体输送体系，分拨箱多用于有毒、易燃、腐化性气体，分拨盘面凡是用于惰性气体；
遵照需收拾的气体品种差别，通过适应的燃烧、水洗、吸附、化学反映等对工艺机台排放的有毒无益尾气实行无害化收拾，到达环保排放模范。
GMS/UMS气体*监控体系，通过上位机长途显示特气房内BSGS/GC/CDS及时运转界面以及及时运转数据,及时显示各个侦测器的数据以及侦测器的运转状况,及时显示VMB压力值,双套管夹套压力数据收罗,当压力超限后报警；相应BSGS/GC/VMB的殷切割断,当爆发2级气体流露报警后，体系自愿遵照预先设定的序次割断BSGS/GC的主供气阀门；数据及报警的归档和打印,要紧的数据和报警都实行归档，能够查看史册数据以理解历程中的职业情状，并能够将需求的数据打印出来。
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